다아라 매거진 _ 2017.09

제품리뷰

KLA-Tencor, FlashScanTM

KLA-Tencor, FlashScanTM - 다아라매거진 제품리뷰

KLA-Tencor(KLA-Tencor Corporation) 는 신형 FlashScanTM 레티클 블랭크 검사 제품군을 발표했다.

KLA-Tencor의 레티클 및 광대역 웨이퍼 검사 부문 전반 관리자인 야린 시옹(Yalin Xiong) 박사는 “발전적 노광(Advanced lithography)은 잘 특성화한 레티클 블랭크부터 시작한다”며, “결함이 없는 EUV 블랭크는 제조하기 극히 까다롭기로 악명이 높다. 비용도 많이 들고, EUV 노광이 차세대 칩 제조에 가져다줄 수 있는 여러 가지 이점을 누릴 수 있는 시점이 늦춰지고 있다. KLA-Tencor의 신형 FlashScan 블랭크 검사기는 빈 기판, 흡수층(absorber film) 및 감광 코팅면 등에 존재하는 광범위한 결함 유형을 포착할 수 있다.

또한, FlashScan 시스템은 현재 시중에서 구할 수 있는 다른 시스템에 비해 처리량과 감도가 월등한 것이 특징으로 블랭크 제조업체와 마스크 숍 측면에서는 학습 주기의 속도가 빨라지는 효과도 있다”고 말했다.

FlashScan 시스템은 KLA-Tencor의 웨이퍼 결함 검사 포트폴리오 특유의 레이저 산란 기술을 활용해 현재 생산 또는 개발 중인 여타 모든 광학 및 EUV 블랭크의 감도와 속도 요구사항에 부합한다.

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